主要特点

• 灵敏度：10^-13~10⁰Pa・m³/s【He】
• 氦气排气速度：3L/S
• 卓越的本底恢复性能和极短的节拍时间
• 大屏幕液晶触摸显示面板，操作便捷
• 分析管采用长寿命的镀氧化钍铱灯丝（内置两根）

应用领域

• 半导体和平板显示器制造
• LED制造
• 镀膜设备
• 制冷设备和空调的元件及部件
• 低温压力容器
• 阀门气密性
• 捡漏航空部件，配件及系统