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氦质谱检漏仪MSE-2401/2402/2403 全自动便携式氦质谱检漏仪（干泵）

主要特点

  • 灵敏度: 10-13~100Pa・m3/s【He】
  • 氦气排气速度：3 L/S
  • 卓越的本底恢复性能和极短的节拍时间
  • 大屏幕液晶触摸显示面板，操作便捷
  • 分析管采用长寿命的镀氧化钍铱灯丝（内置两根）
  • 采用非接触式干泵为无尘室提供更优化的真空系统
  • 无油/无尘/三年免维护（干泵）

应用领域

  • 半导体和平板显示器制造
  • LED制造
  • 镀膜设备
  • 制冷设备和空调的元件及部件
  • 低温压力容器
  • 阀门气密性
  • 捡漏航空部件，配件及系统